广东昊锐净化机电工程有限公司

太阳能电池新能源硅片是以硅材料为原料制成的镜面硅片，用作半导体集成电路芯片的原材料。当前，微电子产业发展迅猛，集成电路技术进入亚0.18微米时代，极大地拉动了光伏新能源硅片的发展。同时，对光伏发电的性能参数要求也越来越高。新能源硅片也有明显提升，光伏新能源硅片发展前景十分乐观。
一、光伏新能源硅片生产工艺
从广义上讲，光伏新能源硅片的生产包括两个主要部分：硅单晶棒的生产和光伏新能源硅片的生产。主要工序：单晶锭生长-单晶锭切割/检验-外径抛光-切片-倒角（圆边）-抛光/抛光片检验-刻蚀（化学刻蚀、LP-CVD+AP-CVD等）PTA热处理、背面损伤处理、抛光（ML粗抛、ML精抛）、清洗、质检、清洁包装、单晶锭生长到外径磨削、硅单晶锭制造工艺、切片后太阳能发电 这是新能源硅片制造工艺。介绍了光伏新能源硅片制造过程中空调净化系统及自动控制系统的设计方案。
二、空气净化系统
空气净化设计与工艺布局和生产工艺密切相关。厂房空气净化系统根据种类和用途的不同，也各有特点，这里就为大家介绍一下光伏发电新能源硅片制造过程中空调净化系统的方案。
1、切片室、倒角室、研磨室只有温控要求。安装风冷热泵分体柜式空调（PAC），确保室温要求。室内机位于附近的车间。 ，接风管，采用双百叶出风口侧送风方式，室外机安装在屋顶。切片间排量大，由直接蒸发热泵式屋顶空调S1-1、S1-2补充新鲜空气。车间有防尘要求，风冷热泵分体柜空调配备中效空气过滤器（空气中粉尘计数效率：60%，对1m颗粒物），安装在屋顶空气还需要调理。配备两级过滤器。
2. 炉膛和BSD室只有温度安装风冷式电热分体柜式空调（PAL）以控制要求并保证室温要求，室内机位于附近的车间，风道连接为方形扩散器顶部送风方式。将室外机安装在屋顶上。主动从相邻的洁净室吸入新鲜空气。车间有防尘要求，风冷电热分体柜空调回风口安装中效过滤器（大气粉尘计数效率：60%，针对1m颗粒物）。
3、研磨试验室有温湿度控制要求。安装风冷电加热分体式柜式空调（PAL），保证室温要求。室内机位于附近的车间并与空气相连。这是室外机安装在屋顶的顶送风方式。外气经外风机组（MAU-1、2）处理后，接送风管送入室内，室内相对湿度由外风机组保证。新风机组与净化系统共用。车间有防尘要求，风冷电热分体柜空调回风口设置中效过滤器（大气粉尘计数效率：1m颗粒物60%）和外风机组。配备粗、中效过滤器。
3、净化系统
光伏新能源净化工程系统中使用的室外空调机组（MAU）和循环空调机组（AHU），采用6-11冷冻水作为制冷剂，0.2MPa蒸汽进行加热。 , 0.1 MPa加湿 MPa洁净蒸汽用于加湿，洁净蒸汽由纯净水经洁净蒸汽发生器产生。
1、CP室净化等级为7级，换气次数为每小时30次。 CP室工艺设备用酸量大，采用新风空调机组（MAU-3）+高效过滤出风口（HEP-ABOX）空调系统。气流过程如下。新风入口——粗滤器——中滤器——预热器——表冷器——加热器——洁净蒸汽加湿——鼓风机——风管——高效过滤送风——洁净区。
2、ML室净化等级7级，换气频率30次/小时，采用新风机组（MAU）+循环机组（AHU）+高效过滤出风空调系统（HEP-ABOX）。外部空气连接到 MAU-1 和其他系统共享的两个外部空气组。
3, CP/CVD 室, LP/CVD室和洁净包装室净化等级为6级，换气频率为每小时50次，采用新风机组（MAU）+循环机组（AHU）+高效过滤出风口（HEP-ABOX）。外部空气连接到 MAU-1 和其他系统共享的两个外部空气组。
4、7、6级洁净室采用空气从上部高效过滤器的送风口送出，从房间下侧的百叶窗出口返回的形式。气流为新鲜回风混合！中效空气过滤器-表冷器-送风机-送风管道-高效空气过滤器出风口-洁净区-内下百叶回风-回风管道-新回风我关心。空气混合。
5、洁净室、质检室净化等级为7级，采用外风机组（MAU）+循环机组（AHU）+风机过滤机组（FFU）组成的空调系统。采用的送风方式为上层FFU送风，房间两侧下层百叶出风口回风。由于FFU的33%全覆盖以及洁净室和质量实验室对NH4+和SQx的浓度要求，循环单元（AHU）应加装化学过滤器。 5级净化室的气流过程如下：新鲜回风混合 - 化学过滤器 (NH4+) - 化学过滤器 (SQx) - 中效过滤器 - 表面冷却器 - 鼓风机 - 供气管 - 供气室 - 风扇过滤装置 (FFU) - 洁净区 - 房间两侧下百叶回风口-回风管-新鲜回风混合气。外部空气连接到 MAU-1 和其他系统共享的两个外部空气组。
6. CP以外的洁净室所需的外气，由两台外气机组（MAU-1、2）集中处理，集中处理后送至各循环机组（AHU）。气流流程为室外进风——粗滤器——中滤器——预热器——表冷器——加热器——洁净蒸汽加湿——鼓风机——送风管——各循环空调机组（AHU）。
7、由于CP室、ML室、洁净室用酸量较大，CP室、ML室高效过滤器排风口采用不锈钢作为扩散板，不锈钢用作网板。洗涤室中的 FFU 应由不锈钢制成。
8. 另外，需要注意的是，必须聘请质量实验室。黑墙板、黑瓦对应黑回风口，FFU用黑屏板。
四、净化系统的空调自动控制
外气机组（MAU-1、2）采用变频风机，主送风管中的静压传感器控制变频器。与每台风量正压控制循环机组（AHU）相连的室外风管上安装电动调节阀，调节电动调节阀的开度为各洁净室的正压值。即使生产设备的排风量发生变化也不会发生变化。当电动调节阀开度变化时，主送风管道静压发生变化，AHU-1和AHU-1的风机频率发生变化. 2 根据其设定值进行调整，以达到控制目标。
1、净化车间/无尘车间温湿度控制
洁净的生产车间湿度由外送风机MAU-1和2保证。用于打开干蒸汽加湿器的电动执行器以及表面冷却器和加热器的回流管路的电动二通阀。露点温度DPT由检查室内的湿度敏感元件HE连续设定。循环机组AHU保证净化生产无尘车间温度，表冷器回水管电动二通阀开度根据室温调节。
2、冷却系统控制
冷冻水系统采用初级泵并使用负载控制方案来确定冷却器、相应水泵和冷却塔的数量。它根据设定的给回水压差自动控制给水总管和回水总管的压差流量旁通阀。
中建南方专注于大气微量污染控制与治理技术的研发。公司是空气净化行业标准化系统解决方案供应商。配备世界一流的生产线和先进的检测设备。我们的主要产品包括：初级过滤器、二级过滤器、高效过滤器、洁净工作台、传递窗、FFU等净化设备及洁净工程、洁净室、无尘车间的设计安装。